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通用高精度绝压传感器

CYG002、CYG003
     以真空压力为零位参考点的大气压、真空度和绝对压力的测量在科学研究和工业仪表中有很广
泛的应用。我们用先进的微机械加工技术制造,参考压力腔用真空静电封接技术开发了该项不同应用
面的系列产品。CYG002用于粗真空度及环境大气压的测量,是膜盒真空计高度计的代替产品及水银
真空压力计的代换产品。CYG003则是采用进口不锈钢波纹隔离膜片为敏感组件制作的通用传感器,
是一种宽量程介质普适性强的绝对压力传感器.
 
一.主要技术指标
 

型    号

CYG002

CYG003

量    程

0—100,200KPa

0—10,16,…1000KPa 100MPa

零位输出

≤±10mV

≤±5mV

满量程输出

30—200mV(视量程而定)

过载能力

200�

供电电源

恒流源供电9 mA或恒压源供电�15V

恒流源供电1—2 mA或恒压源供电�15V

电桥阻抗

0.3—1 K?

3—6 K

补偿温区

�10℃—�60℃

工作温区

�40℃—�80℃

适用介质

无腐蚀性气体及对硅、玻璃、环氧树脂不腐蚀、相兼容的介质

 
二.分档性能参数

             指标
档级

零点时漂
mv8小时

零点温度系数
×10�4 / ℃・FS

灵敏度温度系数
×10�4 / ℃・FS

非线性
±�FS

不重复性,迟滞
�FS

A

0.2

5

5

0.5

0.2

B

0.2

3

3

0.3

0.15

C

0.1

2

2

0.2

0.1

D

高精度要求特定

 
三.标准外形、压力接口及壳体材料
 
  下图为传感器标准外型,压力接口可以在M12×1M20×1.5选择,亦可特定外型及接口,材料
1Cr18Ni9Ti
 
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